近年來，測量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術(shù)(nano-indentation)，由于采用納米壓痕技術(shù)可以在極小的尺寸范圍內(nèi)測試材料的力學(xué)性能，除了塑性性質(zhì)外，還可反映材料的彈性性質(zhì)，因此得到了越來越廣泛的應(yīng)用。

　　納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)（Depth-SensingIndentation，DSI)，是測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。

　　納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、移動(dòng)線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個(gè)部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗(yàn)時(shí)，首先輸入初始參數(shù)，之后的檢測過程則*由微機(jī)自動(dòng)控制，通過改變移動(dòng)線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動(dòng)作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時(shí)應(yīng)變儀還將信號(hào)反饋到移動(dòng)線圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn)。

　　儀器化納米壓痕測試方法中應(yīng)力應(yīng)變分析的另一個(gè)經(jīng)典應(yīng)用是研究金屬焊縫周圍的彈塑性，尤其是軟金屬，例如鋁合金。鋁合金比鋼對(duì)高溫更敏感，因此，研究鋁合金的焊接熱效應(yīng)尤為更重要。在本應(yīng)用所提及的研究中，在加載過程中使用正弦波動(dòng)態(tài)加載模式，利用球形納米壓痕針尖的特性對(duì)兩種不同的鋁合金焊縫附近的彈塑性行為進(jìn)行局部表征。球形納米壓痕針尖用于確定靠近焊縫（區(qū)域A）且距離焊縫約2mm（區(qū)域B）的應(yīng)力應(yīng)變特性。